Fraunhofer-Institut für Mikrotechnik und Mikrosysteme IMMIm Projekt Perses entwickelt das Fraunhofer IMM hochselektive Dünnschichtmembranen zur Trennung von Helium und Wasserstoff für Anwendungen in der Gassensorik. Die Technologien sind industriell etabliert und werden in modernen Leckdetektionssystemen eingesetzt.
Membranprozesse sind ein etablierter Ansatz zur Trennung einzelner Gase aus einem Gemisch. Ziel des Projekts Perses ist die Abtrennung niedermolekularer Gase wie Helium (He) und Wasserstoff (H₂) durch Entwicklung robuster, miniaturisierter Membranen mit hoher Selektivität bei gleichzeitig hoher mechanischer Stabilität für den Einsatz in Sensorsystemen zur Dichtheitsprüfung.
Im Fokus steht die Kombination aus hoher Permeabilität, Druckstabilität und Integrationsfähigkeit in kompakte Messsysteme, sowie eine besonders hohe Fertigungsqualität.
Die am IMM entwickelten Quarz- und Palladium-Dünnschichtmembranen basieren auf einer mikrostrukturierten Trägerplatte aus Silizium, die für die notwendige mechanische Stabilität sorgt.
Die Membranen können hinsichtlich Geometrie und funktionaler Eigenschaften kundenspezifisch angepasst und in Sensorsysteme integriert werden.
Die im Projekt Perses entwickelten Membranen sind speziell auf Anwendungen in der Gassensorik ausgelegt und industriell validiert.
